產品優勢

? 自有原材料，品質優良

? 專有的涂層和凈化技術

?  全譜加工操作和全面的質量控制措施

技術參數

華熔科技 外延/退火石墨托盤的數據表

應用	石墨純度	寬度	熱膨脹系數	每月產能	備注
硅外延	≤1ppm	±0.005mm	4.2	500套	根據客戶圖紙制造
LED外延	≤1ppm	±0.005mm	4.0	1500套

產品特點

?  高純度： 采用超高純度石墨設計，確保盡可能小的污染和極佳的晶體生長條件。

?  熱穩定性： 表現出卓越的熱穩定性，在對于晶體生長過程至關重要的高溫下保持結構完整性。

?  均勻表面： 具有光滑均勻的表面，有利于一致的晶體成核和生長。

技術優勢

? 卓越的導電性： 高導電性和導熱性支持高效的能量轉移，提高晶體生長的整體效率。

? 低膨脹系數： 低熱膨脹系數可最大限度地減少溫度波動期間的變形，確保精確的尺寸控制。

?  耐用性： 卓越的機械強度和耐磨性，提供長期可靠性并減少頻繁更換基材的需要。

應用領域

? 半導體制造： 用于硅和砷化鎵等半導體材料的外延生長，這對于生產高性能電子器件至關重要。

? 薄膜沉積： 支持薄膜沉積工藝，為均勻材料沉積提供穩定的平臺。

? 退火工藝： 非常適合退火應用，材料需要在受控環境中加熱和冷卻以獲得所需的性能。

華熔 的石墨支撐托盤旨在滿足外延和退火工藝的嚴格要求，為半導體和薄膜制造提供可靠的高性能解決方案。